Eden od naših kupcev polprevodnikov-EU-OEM, specializiran za EUV litografijo-se je obrnil na nas z izzivom: izdelati visoko-gostotomikrokanalna hladilna ploščaizdelan iz aluminija 6061-T6. Komponenta je potrebna čez1200 mikro-lukenj, vsakØ 0,18 mm, z arazmerje med globino-in-premerom 10:1, inpoložajna natančnost pod ±5 μmpo celotni površini dela.
Ključni izzivi so vključevali:
Zlom orodjazaradi ekstremnih razmerij stranic
Vzdrževanjenaravnost luknjepri velikih globinah vrtanja
Zagotavljanjeodvajanje čipovbrez deformiranja mikro-lukenj
Preprečevanjetoplotno popačenjemed neprekinjenim vrtanjem
Za reševanje teh smo zaposlili:
Specializirano orodje za mikro{0}}vrtanjez notranjimi kanali za hladilno tekočino
Več{0}}korakovstrategije peck drillingz nadzorom zadrževanja in umika
Izpiranje s-ultrazvočno pomočjoda zagotovite odmik od ostružkov
V-postopkutoplotna stabilizacijamed prehodi za nadzor širitve
Po več iteracijah in simulacijah smo implementirali a2-prehodni postopek vrtanja in povrtavanjaki je dosegel dosledno geometrijo lukenj in notranje površine brez{0}}robov. Pregled po -strojni obdelavi z uporabo a500× digitalni mikroskopinCMM s skeniranjem sondepotrjeno:
Vse luknje znotraj±3 μmtolerančni pas
Površinska hrapavost spodajRa 0,2 μm
Odstopanje-od-razmika med luknjami znotraj±4 μmčez matrico 150 mm × 150 mm
Komponenta je prestala preskuse puščanja s helijem, preskus učinkovitosti prenosa toplote in je bila sprejeta v pilotno sestavo stranke brez predelave.
