Na področju proizvodnje polprevodniške opreme so polisiliconski obroči ključne sestavine v procesu proizvodnje čipov. Pri spodbujanju lokalizacije jedrnih komponent se je proizvajalec domače polprevodniške opreme naletel na težaven problem obdelave - treba je dokončati visoko natančno notranje obdelavo in obdelavo utor na polisilikonskih obročih s premerom 290 mm in debelino 45 mm, tradicionalni procesi pa so bili težki potrebi množične proizvodnje.
Procesiranje ozadja in točk bolečine v industriji
A. Obdelava ozadja
Zaradi odličnih polprevodniških lastnosti se Polysilicon pogosto uporablja v vratih konstrukcijskih delih opreme, kot so ionski implanterji in jedri. Takšne komponente morajo odstraniti več kot 7 0% materiala z več procesi brušenja, hkrati pa zagotavljajo, da je notranja konturna okroglost manjša ali enaka 0. 005 mm in toleranca s širino utora je ± 0,01 mm, kar postavlja stroge zahteve, ki postavljajo stroge zahteve za stabilnost opreme za predelavo.
B. Dilema tradicionalne obdelave
1. tradicionalni brusilni stroji imajo nizko učinkovitost obdelave, en sam kos
2. Stopnja čiščenja med obdelavo rež je kar 35%, kar ima za posledico zapisovanje serije
3. Odklonitev okroglega kroga je> 0. 015mm, kar vpliva na enakomernost porazdelitve plazme opreme
Bishen rešitve: Ultrazvočna tehnologija + visokohitrostni gramofon sodelovanje
Glede na značilnosti obdelave trdih in krhkih materialov Polysilicon je tehnična ekipa Bishen prilagodila rešitev s tremi v enem:
1. Ultrazvočni natančni graviran in rezkalni sistem: 20kHz Visokofrekvenčna vibracija zmanjša rezalno odpornost za 50%
2. DDR Vertikalni gramofon za visoke hitrosti: 3000 vrtljajev ± 1 ″ natančnost, doseganje nadzora poti na nano na ravni
3. Rešitev kompozitnega orodja gradient:
Orodja z diamantom se uporabljajo za hitro odstranjevanje materiala med grobo obdelavo
Ultrazvočna orodja PCD se preklopijo za fino obdelavo
Izmerjeni podatki osvežujejo referenčno vrednost industrije
Pri preverjanju linije kupca je dosegla rešitev Bishen:
Učinkovitost obdelave se je povečala za 2,8 -krat, čas obdelave enega samega kosa pa je bil stisnjen na 2,8 ure
Stopnja čiščenja reže se je zmanjšala s 35 % na 0. 5 % ali manj
Okroglost notranjega kroga je stabilno nadzorovana pri 0. 003-0. 005mm
Površinska hrapavost RA manj kot ali enaka 0.
Ta preboj je povečal stopnjo kvalifikacije množične proizvodnje za obroče Polysilicon vrat kupcev s 61% na 98,7%, kar je uspešno nadomestilo uvožene dele.
OBishen
Bishenže več kot deset let je globoko vključen na področje natančne proizvodnje, s poudarkom na reševanju težav z obdelavo "vrat" v polprevodniku, fotovoltaičnih in drugih panogah. 7.500 kvadratnih metrov podjetja Smart Factory je opremljen z osnovnimi tehnološkimi moduli, kot sta ultrazvočna obdelava in povezava s petimi osi. Ponujala je ključne rešitve za obdelavo delov za več kot 20 proizvajalcev domače polprevodniške opreme. Ustrezne tehnologije so opravile posebno certificiranje ISO9001 in polprevodniške opreme in še naprej pomagale pri postopku neodvisnosti proizvodne opreme višjega cenovnega razreda.
